網站地圖RSS訂閱歡迎光臨本網站!

服務熱線0511-86577721

聯系我們

聯系人:謝先生

電話:0511-86577721

傳真:0511-86577718

郵箱:xiexuedong333@126.com

網址:www.jzgclsjn.com

地址:丹陽市開發區九曲路巷工業園282號

首頁>公司新聞>詳細內容

離子鍍膜工藝及其參數

來源:www.jzgclsjn.com發表時間:2017-03-03

   離子鍍要獲得符合性能所要求的薄膜,就必須使沈積的薄膜具有合適的成分和組織結構及其膜-基結合力。可以利用前述的離子轟擊效應對成膜過程各環節的有利影響來實現。離子鍍影響成膜的主要因素是到達基片的各種粒子(包括膜材原子和離子、工作氣體的原子和離子、反應氣體的原子和離子)的能量、通量和各通量的比例。此外,還有基片的表面狀態和溫度。實施的手段關鍵是調控粒子的等離子體濃度和能量以及基片溫升。不同的離子鍍技術和設備産生和調控等離子體的機制是有所不同的。影響成膜工藝參數主要有:鍍膜室的氣體壓力、反應氣體的分壓、蒸發源功率、蒸發速率、蒸發源和基片間的距離、沈積速率、基體的負偏壓和基體溫度。

  

Copyright www.jzgclsjn.com (複制鏈接)888真人官网 - APP下载專業生産888真人官网 ,真空鍍膜設備,真空鍍膜機等産品,歡迎來電訂購.