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光學鍍膜機維護與保養

來源:www.jzgclsjn.com發表時間:2017-03-03

光學鍍膜機主要由真空鍍膜機室、真空抽氣機組限及電櫃(控制電櫃、電子槍電樞)組成,其廣泛應用于微電子、光學成膜、民用裝飾、表面工程等領域。

光學鍍膜設備在防止油汙染和縮短工作周期等方面具有卓越的性能。

光學鍍膜設備工作原理是在高真空狀態下、利用電子束對金屬或非金屬材料加熱到適當的溫度,材料受熱後蒸發成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸發源至被蒸發基片距離大,蒸發出來的蒸汽分子向四處直射,碰到基片就沈積在基片表面形成臘層。

光學鍍膜機維護與保養主要包换电子枪安装与维护、光路的检修与维护、设备的清洗与保养。

一、電子槍安裝與維護
電子槍蒸發源控制系統是由電子槍燈絲電源、高壓電源、掃描電源、坩埚驅動電源、蒸發源等組成一個電子槍控制電樞。
電子槍控制電樞內含有高壓,在工作前必須保證櫃門各個聯鎖裝置正常工作,非專業人員不得打開電樞門,電子槍在工作時不得打開電櫃門,整個電櫃必須有良好的接地並與機台接地連接。
電子槍蒸發源安裝在真空室底板上,必須與底板有良好的接地效果,安裝蒸發源必須使用不鏽鋼螺絲來固定,周邊200mm以內不得有導磁的物體,否則會影響到電子槍的光斑成表,造成電子性能的不良。電子槍檔板應盡量裝在蒸發源坩埚的中心上30mm處,以不影響電子束的發射爲好。
電子槍蒸發源是一個精密機械加工體,在工作時必須保證有良好的冷卻水,如過高的溫度會影響電子束的成型及各密封圈的性能。

(一)電子槍頭
電子槍的槍頭安裝好壞直接影響到工作的正常進行,其發生的故障有90%同電子槍槍頭有關。
電子槍槍頭有使用一段時間後,會因爲組件的汙染而影響電子束的成型及功率,需要拆卸清潔。

(二)坩埚的維護
拆坩埚之前,請先關掉水路用壓縮空氣把電子槍冷卻管內的水分盡可能吹幹淨。

蒸發源裝卸順序:
1.拆落兩條冷卻水連接管。2.擰出電子槍槍頭連接高壓線兩個螺絲。3.拆坩埚傳動連接座、聯軸器。4.擰落蒸發源四個固定螺絲。5.把蒸發源搬運到一個穩定平整的工作台。6.拆落坩埚蓋板四個螺絲,取下蓋板打磨幹淨。7.檢查蓋板上面兩個密封圈是否需要更換。8.把蒸發源反轉過來倒置,用木板墊住坩埚部分。9.擰下固定坩埚轉動四個螺絲10.擡起蒸發源,取下坩埚11.把坩埚倒置,擰下坩埚底蓋的八個螺絲,清洗幹淨裏面的汙垢,檢查是否需要近密封圈。12.擰下導水管的一個螺絲13.擰下坩埚轉動機構與坩埚蓋板連接的四個螺絲14.撥出坩埚轉動軸,檢查轉動軸的油封是否需要換件 15.把坩埚清潔幹淨安裝。安裝按上面的倒過順序來進行。

(三)導磁板及掃描圈的維護
導磁板及永磁鐵是不需要經常拆卸維護,如需拆卸,請注意永磁鐵的極向,及導磁板的方向。線圈由于安裝的空間密實,請不要使用硬尖的東西撬動,否則有可能會造成損壞。

二、光路的檢修與維護
光路調整的先決條件是:確保直流穩定電源、調制光源頭、光纖、光柵單色儀、光電轉換放大器、光學膜厚儀及各專用電纜的完好和正確接入。特別是光電轉換放大器、光學膜厚測量儀的接地點,必須單獨歸至主機接點牢固接地。

  

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