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電子束鍍膜機加熱原理及特點

來源:www.jzgclsjn.com發表時間:2017-03-10

電子束鍍膜機加热蒸发源是利用热阴极发射电子在电场作用下成为高能量密度的電子束直接轰击到镀料上。電子束的动能转化为热能,使镀料加热汽化,完成蒸发镀膜。

電子束加热蒸发的优点:
1、電子束加热比电阻加热具有更高的通量密度,可以蒸发高熔点材料,如W、Mo、Al2O3等,并可得到较高的蒸发速率;
2、被蒸發材料置于水冷銅坩埚內,可避免坩埚材料汙染,可制備高純薄膜;
3、電子束蒸发粒子动能大,有利于获得致密、结合力好的膜层。

電子束加热蒸发的缺点:
1、結構較複雜,設備價格較貴;
2、若蒸发源附近的蒸气密度高,電子束流和蒸气粒子之间会发生相互作用,电子的通量将散失和轨道偏移;同时引起蒸气和残余气体的激发和电离,会影响膜层质量。

電子束加热蒸发源形式
電子束蒸发源由电子枪和坩埚两部分组成,有时还附有一套供应物料的机械。在许多情况下还会将产生和控制電子束的装置以及坩埚设计成一个整体。電子束加热蒸发源有以下几种结构形式:
1、具有直線陰極和靜電聚焦的蒸發器。
2、具有環狀陰極和靜電聚焦的蒸發器。
3、具有軸向槍和靜電遠聚焦的蒸發器。
4、具有軸向槍、磁聚焦和磁偏轉90度的蒸發器。
5、具有橫向槍和磁偏轉90度的蒸發器。
6、具有環形陰極、靜電聚焦和靜電偏轉的蒸發器。
7、E型电子枪蒸发器,e型電子束蒸发源所发射的电子轨迹与”e”字相似,故简称e型枪。目前这种形式的蒸发源在真空蒸镀膜工艺中应用最为广泛。 

  

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