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888真人官网 爲你介紹複合離子鍍膜機

來源:www.jzgclsjn.com發表時間:2017-03-28

爲了滿足鍍制各種多層薄膜及複合化合物薄膜的要求,多功能複合離子鍍膜機已成爲目前研究發展的方向和熱點。複合離子鍍膜機采用孿生靶的先進技術,克服直流濺射固有的靶中毒、打火等不良弊病,可以鍍制諸如AL2o3,SiO2氧化優質膜,使鍍件的抗氧化耐蝕性能又有所提高和改善。
複合離子鍍膜機的中心安裝柱狀多弧靶,靶材爲钛或锆。它不但能保持多弧技術離化率高、沈積速率高的特點,還能有效地降低小平面多弧靶沈積過程中很難避免的“液滴”的缺陷,從而可以制備出低孔隙率的金屬薄膜或化合特薄膜;在周邊安裝了孿生平面磁控靶,靶材爲鋁或矽,可以鍍Al2O3,SiO2金屬陶瓷膜;中外,在周邊安裝多個小平面多弧蒸發源,靶材爲鉻或鎳,可以鍍制多層金屬膜和多層複合膜。
複合式離子鍍膜設備由于具有多種不同形式鍍膜裝置及不同材質的蒸發源及發射靶,它們既可以獨立地分別工作又可以同時工作,既能制備純金屬膜又能制備金屬化合物膜或複合材料膜;既能制備單層薄膜又能制備多層複合膜,用途極其廣泛。
多弧離子鍍技術以其特有的優點獲得了廣泛的應用。隨著科技和生産的發展,將繼續開拓其應用領域。根據當前的狀況,這項技術將會在下述方面産生較大發展:
1)新型、高效的可控弧靶,包括新型供電電源;
2)除直流以外的其他形式偏壓電源;
3)與非平衡磁控濺射技術結合的新型蒸發器;
4)多樣的整體結構形式;
5)通過計算機輔助設計和控制實現工藝的多樣化

  

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