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真空鍍膜設備故障排除及檢漏方法

來源:www.jzgclsjn.com發表時間:2017-04-11

真空鍍膜設備故障排除及檢漏方法在真空鍍膜設備正常工作时,主开关电路中的开关管处于饱和导通状态,管压降保持在100V左右,栅极得到正偏压50V,高压指示6kV(或10kV)。从检测电路R21上得到的电压控制信号不足以使D13稳压管击穿导通,BG14、BG15、BG16处于截止状态,而BG11、BG12、BG13处于导通状态,由BG11输出一个2.5V左右的高电位。栅压切换电路上的BG10得到2.5V的电压控制信号而处于导通状态,使得BG9的基极电位变为0电位而截止,主开关管通过D6、D7得到正向50V偏置的电压。同时BG7、BG8也处于导通状态,D8稳压管击穿导通,提供主开关管栅极恒定的电流。由于BG10处于导通状态,使得帘栅控制电路的BG4的基极处在0电位而截止,帘栅压的大小受高压分压器信号UR2的控制。当UR2<UD2时,输出的帘栅压的大小是随UR2的变化而变化。
在真空鍍膜設備不正常情況下,增加束流時,由于束斑的位置不在中心,電子束可能會打到坩埚的邊緣,或者束斑的位置在中心,但蒸鍍的材料被打穿等原因,都會出現高壓無指示。這是由于高壓輸出被近似短路,造成電子束流大于預定值,主開關管處于截止狀態,承受全部高壓,使得高壓無輸出。由于打火而造成過大的束流,在電流檢測電路R21取得的過流信號,使得D13穩壓管被擊穿導通,BG14、BG15、BG16處于導通狀態,C13通過BG14、R51放電,使得BG11、BG12、BG13很快截止,BG11輸出爲0V。柵壓切換電路上的BG10得到0V的輸入信號而截止,BG9立刻導通,550V正端通過BG9接到主開關管的陰極,負端通過D5管接到主開關管的柵極,主開關管得到-550V偏壓而進入深度截止,此時高壓就沒有指示了。
真空鍍膜設備檢漏方法888真人官网 介紹檢查漏氣情況是保證真空鍍膜設備真空度的一項檢查措施,簡稱檢漏,真空度的高低是直接影響到鍍膜效果的,所以檢漏是必不可少的。
一般真空室內漏氣都是從室壁上的一些小孔或部件之前的連接位細縫中産生,當抽氣系統抽氣後使真空室內壓強下降,外部與內部的壓強差使氣體從壓強高的外部流向壓強低的真空室內,造成真空度下降。
真空鍍膜設備廠家介紹在檢漏的過程中,需要注意一些問題,才能把檢漏工作做好。
  第一,要確認漏氣到底的虛漏還是實漏,因爲工件材料加熱後都會在不同程度上産生氣體,有可能誤以爲是從外部流進的氣體,這就是虛漏,要排除這種情況。
  第二,測試好真空室的氣體密封性能,確保氣密性能符合要求。
  第三,檢查漏孔的大小,形狀、位置,漏氣的速度,制備出可解決方案並實施。
  第四,確定檢測儀器的最小可檢漏率和檢漏靈敏性,以最大範圍的檢測出漏氣情況,避免一些漏孔被忽略,提高檢漏的准確性。
  第五,把握檢漏儀器的反應時間和消除時間,把時間掌握好,保證檢漏儀器工作到位,時間少了,檢漏效果肯定差,時間長了,浪費檢漏氣體和人工電費。
  第六,還要避免漏孔堵塞,有時由于操作失誤,檢漏過程中,一些灰塵或液體等把漏孔堵塞了,以爲在該位置沒有漏孔,但當這些堵塞物由于內外壓強差異提高或其他原因使漏孔不堵了,那漏氣還是存在的。
  爲真空鍍膜設備做好檢漏工作是很重要的,造成真空度下降的原因多種多樣,我們要一一的解決這些原因,穩定鍍膜的效果。

  

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