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蒸發真空鍍膜機有什麽技術要求

來源:www.jzgclsjn.com發表時間:2017-04-14

結構要求
  1、設備的結構應布局合理,造型美觀,操作方便,便于維修。
  2、設備中靜、動密封的結構形式及尺寸應符合GB/T6070和JB/T1090~1092的規定。
  3、在低真空和高真空管道及鍍膜室上應裝設真空規管,分別測量各部位的壓力。
  4、如果設備的真空機組以擴散泵爲主泵,應在擴散泵的進氣口安裝擋板或冷阱。
  5、鍍膜室應有觀察窗,對在鍍膜過程中發生射線的設備,觀察窗上應加裝防射線鏡片。
  6、帶工件烘烤裝置的設備,應有測溫電極或測溫裝置。
  7、工件架旋轉機構的轉速應符合産品設計要求。
  8、裝有離子轟擊裝置或寬束低能離子源裝置的設備,在産品設計要求規定的參數範圍內應能正常連續穩定工作30分鍾以上。
  9、采用鎢絲作爲蒸發熱源的加熱器應能使蒸鍍材料正常蒸發,且在蒸發過程中,加熱器的幾何形狀應不影響正常蒸發。
  10、設備的蒸發源工作狀況應穩定,易于調節控制。對各類蒸發源(如電阻蒸發源、電子束蒸發源、離子束蒸發源、激光蒸發源、感應式蒸發源等)的技術要求應按相應的産品標准作具體規定。
  11、設備采用低電壓、大電流電阻蒸發源時,每個蒸發源加熱器應在電壓4V~20V,電流50A~180A狀態下正常工作。
  制造要求
  1、設備的零部件機械加工質量及焊接件質量、裝配質量應符合制造廠技術文件的規定
  2、設備鍍膜室內表面及各密封表面的粗糙度Ra值應不大于1.6um,且對工作時處于真空狀態的各表面應進行有效的真空清潔處理並予以幹燥。各轉動件、升降機構等動作應靈活,不得有卡、滯、松、抖及異常聲響等現象,需用潤滑脂的動密封處應充入適量真空油脂。
  3、設備主要零部件的材料應符合相應的材料標准的規定。
  4、設備配套的電氣裝置的質量應符合制造廠技術文件的規定,並應保證設備運行和操作時安全可靠。
  5、設備的外觀質量應做到沒有非功能性需要的尖角、棱角、凸起及粗糙不平表面。零部件結合面的邊沿應整齊勻稱,不得有明顯錯位。金屬零件的鍍層應牢固,無脫落及生鏽等現象,所有堅固件應有防鏽層。設備的塗漆表面應光潔、美觀、牢固、無脫落、起皮等現象。
  6、設備中外購的配套産品,應符合相應的産品標准,並應有質量合格證。設備中自制的配套産品,經制造廠檢驗部門檢驗合格後方可使用。
  7、設備中各類蒸發源、輔助離子源及離子轟擊、工件旋轉、工件烘烤、工件偏壓、膜厚監控等裝置。應逐項調試和聯合調試,其性能均應達到設計要求,運行可靠。工件加熱到額定溫度,真空室外表面溫度不得高于45度,設備運動部分應能正常工作。

  

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