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多弧磁控鍍膜機的使用及維護

來源:www.jzgclsjn.com發表時間:2017-04-28

多弧磁控鍍膜機其工作原理是在真空狀態下,使用弧光放電和輝光放電的工作原理。在金屬和非金屬的工件表面上鍍制金色的氮化钛,黑色碳化钛,七彩的氮氧化钛等。亦可鍍防腐蝕膜(如AL,Cr不鏽鋼及TiN等)和耐磨膜,膜層與基底結合牢固,適合于手表、五金餐具、陶瓷及要求磨超硬的刀具,模具等,具有很好的發展前景。
  
多弧磁控鍍膜機使用及維護
使用前各電源開關及操作按鈕應處于斷開位置,接通水源,氣源,電源。
1)打開真空控制電源開關。
2)開維持泵對擴散泵抽低真空,並測量前級真空度。
3)待前級壓力達到5.0*10pa後,開擴散泵加熱。
4)開充氣閥,對鍍膜室充氣,打開鍍膜室門,裝好清洗幹淨的工件,關好爐門。
5)待擴散泵正常工作一小時後,開機械泵開預抽閥,對真空室手抽真空至1.0*103pa,然後開羅茨泵。
6)當壓力達到3.0*10pa後,關預抽閥,開前級閥。開高真閥,對鍍膜室抽高真空。
7)當真空室壓力達到8*10-3pa後開工作旋轉,並開加熱至設定值。
8)開始鍍膜操作程序。
9)鍍膜操作程序結束。
10)降爐溫至100oC以下,打開充氣閥爐門取出工件,每一爐使用之前對爐內進行清潔。
11)一個工作周期後,要用吸塵器把鍍膜室內的粉塵吸幹淨,避免短路或汙染真空系統。
12)經過一段時間要取下擋板進行清洗。


  

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